AeroTrak?便攜式粒子計數(shù)器9110型

9110型高靈敏度粒子計數(shù)器，它能精確測量0.1μm的粒子，粒徑范圍為0.1至10 μm，可同時檢測多達八個通道（0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm）的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min）流速，在半導體超凈環(huán)境控制中，能夠實時、準確地檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)，為產(chǎn)品良率保駕護航。

特點與優(yōu)勢

1. 精確檢測0.1μm的粒子

2. 粒徑范圍0.1至10 μm

3. 可同時檢測多達八個通道的粒子數(shù)據(jù)

4. 1.0 CFM (28.3 L/min）流速

5. 符合ISO 21501-4標準中所有要求

6. I級和II級無塵室檢測最佳選擇

7. 完全符合ISO 21501-4要求

8. 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報告

9. 通過TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認證報告

10. 采用增強HeNe激光

11. 高可重復和高可靠檢測/數(shù)據(jù)

12. 數(shù)據(jù)存儲：250區(qū)，999個位置和10,000個樣本

13. USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出

14. 工業(yè)級高分貝報警

15. 允許存儲和回放特定測試/配置

16. 顯示多達三個環(huán)境參數(shù)

17. 不銹鋼外殼

18. 無縫整合M32-01多點采樣器

19. 無塵室分類達到ISO I級

9110粒子計數(shù)器多功能的配置可以根據(jù)不同需要，既可以作為單機粒子計數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。適用于粒子污染監(jiān)測、已安裝過濾器檢漏測試、無塵室認證等領域。

實現(xiàn)無污染的半導體制造對于減少缺陷和良率損失以及提高設備的可靠性是至關重要的！

隨著半導體行業(yè)朝著越來越小的工藝尺寸和復雜性發(fā)展，對潔凈室工藝制程關鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測量至關重要，把先進的塵埃粒子檢測技術集成到半導體制造工藝中，是半導體制造質量和卓越的基石，支持關鍵半導體技術的進步。